USHIO曝光用UV燈管超高壓UV燈

USHIO曝光用UV燈管超高壓UV燈

特征

*適合曝光制程的紫外線波長

在紫外線波長中，USHIO的超高壓UV燈仍可有效運用3線（436nm?405nm?365nm)波長,是長效型、且具有穩定放射照度的高亮度光源。

發揮光學系*大性能的點狀光源

弧形大小極接近點狀光源，易于集中與擴散光學系統上的光，因此可以得到均勻的照度分布。

配合半導體、液晶?彩色濾光片?PDP以及印刷基板用線路成形等各種用途的燈輸出

因應回路與類型燒付照度需求的提高、小型（100w級）～超大型（35kw級）為止、適用各尺寸的燈具。

發揮現有設備*大性能的高照度

因應現有設備Throughput提升的需求、即使僅使用高照度燈、亦可望確實提升產能。

※部分設備商產品則必須實施設備改造。

對應需求波長的燈具開發

配合顧客新設備的開發，開發出*適合的燈具。

詳情請洽詢。

USHIO曝光用UV燈管超高壓UV燈

紫外線壽命特性

主要數據數據

分光分布（超高壓UV燈）