真空源設備  的詳細介紹

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【用途】
真空チャック専用の減圧裝置です。チャック作業面でのワークに対する大気圧を効果的に維持するため、チャック側を連続的に排気します。但し、改造等による圧力容器としての使用は不可です。
■エゼクタ方式 [VPU-E形]
エアーの高圧噴射により、排気減圧（噴霧器の原理）する方式の真空源裝置です。コンプレッサーによるエアーラインが設備されている場合に適します。濕式、乾式どちらの加工條件にも対応できます。ただし、エアーライン間のルブリケーターの使用は避けてください。
■ドライポンプ方式 [VPU-D形]
モーター駆動により、ポンプ排気にて減圧を得る真空源裝置です。電源のみで獨立真空源が得られます。但し乾式の加工條件のみに適します。
■その他の方式
実用限度內にてワーク底面の物理的密著が良好に得られない場合はエアーの漏れが多く、大排気量を必要とします。作業條件により乾式使用ではブロワ-方式、濕式使用では水封式真空ポンプのタイプが必要となりますので、ご相談ください。
【特長】
排気システム、フィルタ、真空タンク、真空計がコンパクトにセットされています。
ワーク著脫にともなう吸排気操作は、付屬の専用操作バルブで容易迅速に行えます。
80kPa（600mmHg）以上の気圧差が連続して得られます。
作業條件に合せて、乾、濕、排気量を選択できます