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產品名稱：授權廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器
產品型號：AeroBarMP Model 5635
產品廠商：SIMCO思美高
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簡單介紹：

授權廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器 5635型Aerobar MP離子發生器是一種超低顆粒兼容產品，適用于需要100 nm或更低微粒度管理的場所的靜電消除，包括先進的半導體制造工藝授權廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器

詳情介紹：

特點

在全球范圍內具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導致金屬污染的風險
通過原始MP（脈沖調制）方法將離子有效地帶到目標的高效靜電消除
即使在100 mm距離和離子平衡下也可以使用的小電位擺動特性，在棒長度上幾乎沒有偏差
離子發生狀態和離子平衡由智能控制電路自動管理
可旋轉1/4旋轉的可更換電極有助于減少維護工時
由于MP系統的特性，潛在的擺動非常小，因此設置簡單。此外，小電位擺動有效地保持了管理標準內的長期離子平衡
設置與半導體前端EFEM對應的長度條
緊湊的24 V DC驅動控制器設計
全球范圍內提供上等支持網絡

規范

型號5635 AeroBar MP

輸入電壓	24 V DC +/- 10％
輸出電壓	高達約13.5kv pp可調
安裝距離	100毫米至1000毫米（無空氣吹掃）
離子發生方法	電暈放電方法 MP（脈沖調制）方法調制頻率1至33 Hz
離子平衡	自動平衡調整方法 <+/- 10 V由于直接位于條形下方的位置<+/- 10 V （600 mm距離）
電極	單晶硅電極可更換
吹掃氣體	清潔干燥空氣或N 2
*大吹掃壓力	310 Kpa
臭氧量	<0.05 ppm（24小時積分值）
信號輸出	報警IO開路集電極輸出
維	高度78 mm x深度34 mm x長度如下
維	450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 mm
外觀	ABS樹脂

擴展的ISO Class 1,10 nm？
對于擴展ISO Class1,10nm？這是為了自己的確定級別的ION系統的清潔度，以應對微小粒子管理的定義。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100nm。擴展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數目的同一允許數將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺）至少一個粒徑10nm的

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產品名稱：授權廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器

特點

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