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簡單介紹：

檢測對象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3 檢測濃度 1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm 檢測原理專線型半導體式采樣方式自動吸引式應用行業半導體制造

詳情介紹：

產品描述：半導體材料氣體檢測

可檢測微量的半導體材料氣體泄漏，可對半導體工廠等使用毒性氣體的場所進行泄漏檢測，

也可對氫氣相關設備提供**保障。

01.產品特點

· 小型·輕量

· 可以檢查非常微量的氣體泄漏

· 適合氫氣相關設備的**防護

· 搭載的泵有自動停止功能

· 搭載[自動氣體排氣模式]功能

· 保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時

02.產品用途

· 半導體工廠/石油化學工廠等

· 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測

03.產品參數

XP-703DⅢ產品參數.jpg

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