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●SEMI標(biāo)準(zhǔn)載體間的水平批量轉(zhuǎn)移。
●節(jié)省空間的桌面型
●當(dāng)載體設(shè)置不正確時(shí)，傳感器會停止傳輸。（AWT）
●轉(zhuǎn)移臂，以避免損壞晶圓當(dāng)它檢測到在轉(zhuǎn)印時(shí)將停止的過電流。（AWT）
●200MM（AWT200，MWT200）或150毫米對應(yīng)于（AWT150，MWT150）
對應(yīng)于●自動（AWT200，AWT150）或手動（MWT200，MWT150）。

規(guī)范

電源	AC 100/240 V，50/60 Hz
目前的能力	1.2 A.
外部尺寸	AWT 200：642（長）×230（寬）×290（高）mm （自動型，200 mm） MWT200：642（L）×230（寬）×290（高）mm （手動型，200 mm）的 AWT150：545（L）×172（寬）×248（高）mm （自動型，150mm）上 MWT150：534（ L）x 212（寬）x 248（高）mm （手動型，150 mm）

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產(chǎn)品名稱：重慶直供HUGLE藤宮晶圓轉(zhuǎn)移機(jī)成都及西南區(qū)客戶共享資源

晶圓轉(zhuǎn)移機(jī)AWT 200 / AWT 150 / MWT 200 / MWT 150

產(chǎn)品概述

規(guī)范