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    • 產品詳情

    • 產品名稱：重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源

    • 產品型號：SMIFPOD清潔系統CP-2200
    • 產品廠商：HUGLE藤宮
    • 產品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產品文檔：
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    簡單介紹：
    重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源 重慶內藤機械設備有限公司 重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源
    詳情介紹：

    SMIF POD清潔系統CP-2200

    這是為了**清潔和干燥8英寸SMIF POD而開發的前端操作方法的手動設定方法。
    CP-2200是一種清潔和干燥設備，適用于研究用途，中試線等，具有半導體設備和先進技術的容器清潔設備制造商獨有的先進知識。
    CP-2200也可以使用盒式清潔/干燥等。

    產品概述

    ●SMIF箱，同時純水射流清洗，基部內表面的氣刀暖風干燥的蓋部的內表面和外表面
    ●吊艙旋轉時，設置在靠近噴嘴的精密清洗，干燥
    ●除了洗滌少量期間純凈水引流到預防**的產生
    操作方便通過●觸摸屏
    ●序器系統通過控制器
    ●友好的操作者的各種**裝置
    ●維修方便
    可以是各種各樣的設計能夠滿足需求的辦法●

    規范


    設定方法 手冊
    處理目標 8英寸SMIF POD / 8英寸盒式磁帶
    處理時間 1套/ 15分鐘
    外部尺寸 1300（寬）x 70（長）x 1580（高）毫米（當室門打開時）
    重量 300公斤
    電源 3相，200 VAC（帶接地），8 KVA，50/60 Hz
    純凈水 流量 10升/分鐘（低要求流量）
    壓力 0.1 Mpa
    CDA 
    （干凈的干燥空氣）     		流量 1600 NL / min
    壓力 0.7 Mpa
    排氣 發動機排量 2000 NL / min或更高
    引流 流量 40升/分鐘以上
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