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產品詳情

  • 產品名稱：重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源

  • 產品型號：SMIFPOD清潔系統CP-2200
  • 產品廠商：HUGLE藤宮
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
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簡單介紹：
重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源 重慶內藤機械設備有限公司 重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統成都及西南區客戶共享資源
詳情介紹：

SMIF POD清潔系統CP-2200

這是為了**清潔和干燥8英寸SMIF POD而開發的前端操作方法的手動設定方法。
CP-2200是一種清潔和干燥設備，適用于研究用途，中試線等，具有半導體設備和先進技術的容器清潔設備制造商獨有的先進知識。
CP-2200也可以使用盒式清潔/干燥等。

產品概述

●SMIF箱，同時純水射流清洗，基部內表面的氣刀暖風干燥的蓋部的內表面和外表面
●吊艙旋轉時，設置在靠近噴嘴的精密清洗，干燥
●除了洗滌少量期間純凈水引流到預防**的產生
操作方便通過●觸摸屏
●序器系統通過控制器
●友好的操作者的各種**裝置
●維修方便
可以是各種各樣的設計能夠滿足需求的辦法●

規范


設定方法 手冊
處理目標 8英寸SMIF POD / 8英寸盒式磁帶
處理時間 1套/ 15分鐘
外部尺寸 1300（寬）x 70（長）x 1580（高）毫米（當室門打開時）
重量 300公斤
電源 3相，200 VAC（帶接地），8 KVA，50/60 Hz
純凈水 流量 10升/分鐘（低要求流量）
壓力 0.1 Mpa
CDA 
（干凈的干燥空氣） 		流量 1600 NL / min
壓力 0.7 Mpa
排氣 發動機排量 2000 NL / min或更高
引流 流量 40升/分鐘以上
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