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產品詳情
簡單介紹：
重慶直供HUGLE藤宮FOUP/FOSB清潔系統西南區客戶共享資源
重慶內藤機械設備有限公司
重慶直供HUGLE藤宮FOUP/FOSB清潔系統西南區客戶共享資源
詳情介紹：
FOUP / FOSB清潔系統HNM-300
通過對FOUP和FOSB進行必要的清潔來維持和提高半導體制造的高生產率這一概念至關重要。HNM-300可用各種FOUP / FOSB一個洗滌/干燥。
沒有必要更改任何工藝套件或通過Huggle的原始腔室結構更改設置。
產品概述
和高吞吐量（我們之前的模型）
，教育部足跡
-neutralization /除塵措施
噴嘴噴射**清洗保潔
在短時間內通過熱風刀干燥完全干燥
，喝水死的預防功能
，可以添加自動FOUP Opner機制（選項）
規范
裝置主體：2300（W）×1400（D）×2200（H）mm（不包括投影）
