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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
授權(quán)廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器
5635型Aerobar MP離子發(fā)生器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品,適用于需要100 nm或更低微粒度管理的場所的靜電消除,包括先進的半導(dǎo)體制造工藝
授權(quán)廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器
詳情介紹:
特點
- 在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導(dǎo)致金屬污染的風險
- 通過原始MP(脈沖調(diào)制)方法將離子有效地帶到目標的高效靜電消除
- 即使在100 mm距離和離子平衡下也可以使用的小電位擺動特性,在棒長度上幾乎沒有偏差
- 離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡由智能控制電路自動管理
- 可旋轉(zhuǎn)1/4旋轉(zhuǎn)的可更換電極有助于減少維護工時
- 由于MP系統(tǒng)的特性,潛在的擺動非常小,因此設(shè)置簡單。此外,小電位擺動有效地保持了管理標準內(nèi)的長期離子平衡
- 設(shè)置與半導(dǎo)體前端EFEM對應(yīng)的長度條
- 緊湊的24 V DC驅(qū)動控制器設(shè)計
- 全球范圍內(nèi)提供上等支持網(wǎng)絡(luò)
規(guī)范
型號5635 AeroBar MP輸入電壓 | 24 V DC +/- 10% |
---|---|
輸出電壓 | 高達約13.5kv pp可調(diào) |
安裝距離 | 100毫米至1000毫米(無空氣吹掃) |
離子發(fā)生方法 |
電暈放電方法 MP(脈沖調(diào)制)方法調(diào)制頻率1至33 Hz |
離子平衡 |
自動平衡調(diào)整方法 <+/- 10 V由于直接位于條形下方的位置<+/- 10 V (600 mm距離) |
電極 | 單晶硅電極可更換 |
吹掃氣體 | 清潔干燥空氣或N 2 |
*大吹掃壓力 | 310 Kpa |
臭氧量 | <0.05 ppm(24小時積分值) |
信號輸出 | 報警IO開路集電極輸出 |
維 | 高度78 mm x深度34 mm x長度如下 |
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 mm |
|
外觀 | ABS樹脂 |
擴展的ISO Class 1,10 nm?
對于擴展ISO Class1,10nm?這是為了自己的確定級別的ION系統(tǒng)的清潔度,以應(yīng)對微小粒子管理的定義。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100nm。擴展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一個粒徑10nm的